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等離子增強化學氣相淀積設備國際招標公告(2)

發布時間:2019-11-13

上海機電設備招標有限公司受招標人委托對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標,于2019-11-13在中國國際招標網公告。本次招標采用傳統招標方式,現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:用于12英寸介質薄膜的沉積,用于N-free DARC、ULK、SiCN等淀積;滿足55-14 nm的用N-free DARC、ULK、SiCN等薄膜工藝要求。
資金到位或資金來源落實情況:資金已到位
項目已具備招標條件的說明:項目已具備招標條件
2、招標內容
招標項目編號:0613-194022124700
招標項目名稱:等離子增強化學氣相淀積設備
項目實施地點:中國上海市
招標產品列表(主要設備):
序號 產品名稱 數量 簡要技術規格備注
1 等離子增強化學氣相淀積設備 1 用于12英寸介質薄膜的沉積,用于N-free DARC、ULK、SiCN等淀積;滿足55-14 nm的用N-free DARC、ULK、SiCN等薄膜工藝要求。

3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業績:1)投標人應為符合《中華人民共和國招標投標法》規定的獨立法人或其他組織; 2)投標人應為投標貨物的制造商或代理商,如投標人為投標貨物的代理商,還需提供制造商對本次招標項目出具的獨家授權書; 3)投標人提供的投標機型應是原產地的全新產品; 4)投標人或投標貨物的制造商應具有向中國大陸境內12英寸半導體制造企業同類型全自動設備的供貨和安裝調試經驗,同款設備在國內外安裝使用過20臺以上(包括20臺),且運行情況良好,無質量和安全事故,無其他不良記錄。需提供三年內的業績清單,并附中標通知書、合同或用戶證明或驗收證書等的復印件(原件備查); 5)投標人或投標貨物的制造商應具有完善的售后服務制度和良好的售后服務記錄,并能提供本地良好的支持服務; 6)法律、行政法規規定的其他條件。
是否接受聯合體投標:不接受
未領購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領購開始時間:2019-11-13
招標文件領購結束時間:2019-11-20
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現場領購
招標文件領購地點:上海市長壽路285號恒達大廈16樓
招標文件售價:¥1000/$165
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2019-12-04 15:00
投標文件送達地點:上海市長壽路285號恒達廣場16樓
開標地點:上海市長壽路285號恒達大廈16樓
6、投標人在投標前應在必聯網(http://www.ebnew.com)或機電產品招標投標電子交易平臺(http://www.fbbqs.live)完成注冊及信息核驗。
7、聯系方式
招標人:上海集成電路研發中心有限公司
地址:上海市浦東新區高斯路497號
聯系人:張春英
聯系方式:021-60861048
招標代理機構:上海機電設備招標有限公司
地址:上海市長壽路285號恒達大廈16樓
聯系人:宋怡、金奇偉
聯系方式:86-21-32557501;[email protected]
8、匯款方式:
招標代理機構開戶銀行(人民幣):建行上海市分行營業部
招標代理機構開戶銀行(美元):建行上海市分行營業部
賬號(人民幣):31001550400055646341
賬號(美元):31001550400055646341

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